仪器离子测试

检测项目

1.晶圆表面残留离子分析：氯离子，硫酸根离子，钠离子，钾离子，铵根离子，氟离子。

2.工艺化学品纯度检测：硝酸根离子，磷酸根离子，金属阳离子杂质，有机酸根离子。

3.超纯水与清洗液监测：阴离子总量，阳离子总量，二氧化硅含量，特定金属离子浓度。

4.光刻胶及相关材料检测：金属杂质离子，卤素离子含量，有机胺类阳离子。

5.封装材料离子含量测试：溴离子，锑离子，磷离子，用于测试材料的阻燃剂残留。

6.蚀刻液与剥离液分析：主要酸根成分浓度，杂质金属离子，溶液老化产生的离子副产物。

7.洁净室环境监测：空气中可凝结气相分子污染物，包括氨、氟化氢、氯化氢等酸性及碱性气体离子化产物。

8.电镀液成分与杂质分析：主盐金属离子浓度，添加剂分解产物，杂质金属离子污染。

9.化学机械抛光浆料检测：研磨颗粒表面的离子态污染物，浆料中稳定剂与分散剂的离子残留。

10.器件失效分析：腐蚀产物离子鉴定，电迁移区域离子富集分析，绝缘层离子污染溯源。

11.硅片及外延层体材料分析：重金属离子扩散浓度，氧沉淀相关离子态缺陷。

检测范围

硅晶圆、砷化镓晶圆、光刻胶、显影液、蚀刻液、化学机械抛光浆料、超高纯电子级化学品、去离子水与超纯水、晶圆清洗液、电镀液、锡球与焊膏、封装树脂与塑封料、引线框架、键合丝、洁净室环境空气、工艺气体、半导体器件失效样品、溅射靶材、液晶显示面板用化学品

检测设备

1.离子色谱仪：用于高效分离和测定样品中多种阴离子和阳离子的含量；具备高灵敏度与高选择性，可分析痕量级离子成分。

2.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量金属元素及部分非金属元素的定性定量分析；具有极低的检测限和宽线性动态范围。

3.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于同时或顺序测定样品中多种金属元素的浓度；适用于工艺化学品中杂质离子的快速筛查。

4.气相分子吸收光谱仪：专门用于测定水样或提取液中特定形态的氮、硫等元素离子；抗基体干扰能力强。

5.自动电位滴定仪：通过测量滴定过程中电位变化来确定离子浓度或含量；适用于高浓度成分的精确分析。

6.原子吸收光谱仪：用于测定特定金属元素的含量；设备结构相对简单，对部分元素分析灵敏度高。

7.总有机碳分析仪：用于测定水溶液中的总有机碳含量；可间接测试有机酸根等可氧化有机离子的总体水平。

8.在线离子监测系统：实时连续监测超纯水或工艺流体中的离子浓度；提供动态数据以进行工艺稳定性控制。

9.热提取与电导检测系统：用于分析固体材料（如封装料）在加热时释放出的离子化污染物；模拟实际工作温度下的离子析出行为。

10.扫描电子显微镜搭配X射线能谱仪：用于对器件失效点或污染物进行微区形貌观察与元素成分定性半定量分析；可定位特定区域的离子富集现象。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.